谐波传动减速机、RV减速机和精密行星减速机助力晶圆搬运系统实现更高水平的自动化

随着技术的不断进步，晶圆搬运机器人正逐步实现更高水平的自动化，以满足半导体制造行业的需求与挑战。

● 谐波减速机凭借其零背隙、超高精度（角秒级）和轻量化特性，常用于晶圆搬运机械臂（Wafer Handler）、光刻机（Lithography）及洁净室兼容设备等装备中。

● RV减速机由于具有高刚性、高扭矩和长寿命等优势，常应用于负载搬运机器人手臂的底座部位。

● 精密行星减速机凭借其高扭矩密度和紧凑结构，广泛应用于晶圆传送带、分度旋转工作台和晶圆预对准器等设备中。

采用直驱的SCARA晶圆搬运机器人

SCARA型机器人采用高精度角度传感器进行位置反馈，从而实现机器人运动调整和旋转角度补偿，确保末端执行器能够指向任意所需方向。

在SCARA机器人手臂的J3和J4关节（前臂关节和腕关节）中，谐波减速机发挥着不可替代的作用。谐波传动的柔轮弹性变形原理可彻底消除机械背隙，这对于确保晶圆放置精度和降低末端执行器惯量至关重要。

密封式RV减速机助力真空晶圆搬运机器人手臂

由于具有高刚性和长寿命，RV减速机是晶圆搬运机器人手臂中的常用部件。真空晶圆搬运设备对洁净度和稳定性提出了更高要求。

鸿磐提供可集成内置电机的定制密封式RV减速机。密封式设计使RV减速机更易于安装和使用，减少晶圆搬运系统的安装时间，并提升设计安全性。

精密行星减速机提供高效传动和多样化选择

精密行星减速机的多级齿轮布置可最大限度减少能量损失，实现超过90%的传动效率。这种高效能量转换特性有助于降低能耗，为企业带来经济效益。

晶圆搬运系统需要大量设备，而单个项目往往涉及数十亿投资。如何有效节省初始投资成本和长期运营费用，是制造商重点考虑的关键问题。

此外，精密行星减速机的多样化选择可为企业提供更符合其需求的产品。可根据晶圆搬运系统的设计，选择单级、双级或多级减速配置，以匹配不同的速度和扭矩要求。

机器人结构形式多样。对于具有重复性、固定运动轨迹的机器人，应根据实际工况选择合适的结构和自由度。

机器人手臂的典型旋转方案包括：

大臂旋转：交流伺服电机 → 谐波减速机/RV减速机/精密行星减速机 → 轴承连接 → 大臂

小臂旋转：交流伺服电机 → 谐波减速机/RV减速机 → 轴承连接 → 小臂

为晶圆搬运系统选择减速机时，必须综合考虑精度、洁净度、速度和负载等因素。

联系鸿磐，与我们的技术专家共同解决晶圆搬运系统的精密传动难题，并获得最适合的减速机解决方案。